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LED和MEMS

ag亚洲国际高度优化的批量型ALD手艺助力完成一个智能天下


节能照明和显现器、小我通信装备、医疗保健和小我安康, 智能都会和物联网等等, 咱们逐步糊口在一个由庞杂智能体系毗连起来的智能天下。多样化智能产物的利用与成长促使化合物半导体和MEMS财产正在履历疾速增加,财产化出产须要大批更好的机能、更高的靠得住性, 但又具备本钱效益的产物。ag亚洲国际向各种集成电路芯片制作商和代工场供给高效力单一晶圆和批量型ALD薄膜堆积处理计划,使财产化出产的化合物半导体和MEMS产物具备更好机能、更经济、靠得住。





麒麟系列批量ALD薄膜体系

ag亚洲国际麒麟系列批量ALD薄膜堆积体系公用于100, 150和200mm晶圆出产的批量ALD镀膜装备。 可作为自力机台利用,也可与支流贸易主动化晶圆装载体系和团簇平台集群。自有专利设想的反映器能够堆积多种资料并确保极限保形和平均的ALD薄膜堆积。麒麟体系高度通用,具备矫捷性、高产能等特征和极底的利用本钱。

可制备工艺:
氧化物:SiO2 , Al2O3 , HfO2 , ZrO2 , Ta2O5 , Nb2O5 , TiO2 , ZnO , SrTiO3
氮化物:TiN , Ta2N5 , AlN
单金属:Ru , Pt
温度规模:室温-500ºC 
晶圆尺寸:100, 150和200mm




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